[19p-PA4-1~27] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-PA4-21] 機械学習によるGaN MOVPE結晶成長シミュレーション結果の予測

〇富澤 巧¹、川上 賢人²、角岡 洋介²、洗平 昌晃³、岡本 直也²、原田 俊太³、芳松 克則³、宇治原 徹³、白石 賢二³ (1.名大工、2.名大院工、3.名大未来研)

キーワード：機械学習、GaN、MOVPE