[19p-PA5-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[19p-PA5-11] ミストCVD法による酸化ガリウム薄膜の作製

原田 貴志¹、足立 良樹¹、堀田 育志¹、吉田 晴彦¹、前田 光治¹、〇新船 幸二¹ (1.兵庫県立大学)

キーワード：酸化ガリウム、パッシベーション、結晶シリコン系太陽電池

p型用パッシベーション材料の候補である酸化ガリウム薄膜をミストCVD法により作製し、その評価を行った。