13:30 〜 15:30 [19p-PA5-11] ミストCVD法による酸化ガリウム薄膜の作製 原田 貴志1、足立 良樹1、堀田 育志1、吉田 晴彦1、前田 光治1、〇新船 幸二1 (1.兵庫県立大学)