[19p-PA7-1~29] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[19p-PA7-15] Hybrid plasmonic modulator using [(GeTe)₂(Sb₂Te₃)₁]_n superlattice

〇(D)takeru sugiyama¹, Atsushi Kubo^1,3, Takashi Nakano^2,3 (1.Univ. of Tsukuba, 2.AIST, 3.JST-CREST)

Keywords:plasmonics, GST superlattice

本研究では，Si₃N₄/ITO/Auからなるハイブリッド型表面プラズモン導波路内に，[(GeTe)₂/(Sb₂Te₃)₁]_n超格子（GST超格子）が埋包された構造の変調デバイスの設計をおこなった．ITOを電極としてGST超格子に電圧パルスを印加することで相転移を誘起し，2種類の結晶相間の光学特性のコントラストにより導波モードを変調する．電磁場シミュレーションから，最大で14.7 dBの出力比が得られると予想される．当日は，デバイスの作製と評価についても報告する．