[19p-PA7-1~29] 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学

[19p-PA7-15] [(GeTe)₂(Sb₂Te₃)₁]_n超格子を用いたハイブリッドプラズモニック変調素子

〇(D)杉山 岳¹、久保 敦^1,3、中野 隆志^2,3 (1.筑波大物理、2.産総研、3.JST-CREST)

キーワード：プラズモニクス、GST超格子

本研究では，Si₃N₄/ITO/Auからなるハイブリッド型表面プラズモン導波路内に，[(GeTe)₂/(Sb₂Te₃)₁]_n超格子（GST超格子）が埋包された構造の変調デバイスの設計をおこなった．ITOを電極としてGST超格子に電圧パルスを印加することで相転移を誘起し，2種類の結晶相間の光学特性のコントラストにより導波モードを変調する．電磁場シミュレーションから，最大で14.7 dBの出力比が得られると予想される．当日は，デバイスの作製と評価についても報告する．