2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2018年9月19日(水) 13:30 〜 15:30 PB (白鳥ホール)

13:30 〜 15:30

[19p-PB1-17] Nd:YAGレーザーを用いたPLD法で作製したNb:SrTiO3薄膜の
ポストアニール効果

高嶋 佑伍1、千葉 一樹1、平 智幸1、中村 基訓1、篁 耕司1 (1.旭川高専)

キーワード:PLD、YAG、アニール効果