[19p-PB2-1~8] 6.5 Surface Physics, Vacuum

[19p-PB2-4] Fabrication of Multilayer Film by Porosity Modulation of Porous Alumina

〇Shinya Ogawa¹, Kiyoshi Kawamoto¹ (1.Hachinohe Inst. of Tech.)

Keywords:optical thin film, anodization, alumina

アルミニウムを陽極酸化することで得られる陽極酸化ポーラスアルミナは、空孔が規則的に並んだ構造をしている。電圧などの作製条件を制御することで空孔率を変え、屈折率などの物性値を制御することが可能だと考えられる。本研究では高い電圧と低い電圧を交互に印加することで、屈折率の低い膜と高い膜を交互に形成させ、ポーラスアルミナのみの単一材料からなる多層膜の作製を行った。