[19p-PB8-1~23] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[19p-PB8-1] α-Ga₂O₃薄膜を用いた紫外線検出器とその2光子吸収特性

〇宇野 和行¹、梅村 千里¹、中村 幸¹、田中 一郎¹ (1.和歌山大システム工)

キーワード：酸化ガリウム、紫外線検出器、ミストCVD

α型酸化ガリウム薄膜を用いてMSM型紫外光検出器を作製した。このデバイスが可視光にも感度を有する原因が2光子吸収にあることを実験的に明らかにした。