[19p-PB8-1~23] 21 Joint Session K (Poster)

[19p-PB8-20] Oriented zinc oxide thin film deposition by dip coating method

〇Yasuhiro Morimoto¹, Koji Abe¹ (1.Nagoya Inst. of Tech.)

Keywords:zinc oxide, dip-coating, Orientation control

酸化亜鉛(ZnO)は、その性質（圧電性、電気特性、光学特性等）から、ガスセンサ、SAW デバ
イス、透明電極等へ応用が期待されている。本研究では、安価な成膜手法であるディップコー
ト法を用いて、配向性を制御したZnO 薄膜を成膜することを目的とした。今回は、プレアニール
に着目し、プレアニール条件が薄膜の配向性に与える影響を調査した。