[19p-PB8-1~23] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[19p-PB8-20] ディップコート法を用いた配向性酸化亜鉛薄膜の堆積

〇森本 康弘¹、安部 功二¹ (1.名工大)

キーワード：酸化亜鉛、ディップコーティング、配向性

酸化亜鉛(ZnO)は、その性質（圧電性、電気特性、光学特性等）から、ガスセンサ、SAW デバ
イス、透明電極等へ応用が期待されている。本研究では、安価な成膜手法であるディップコー
ト法を用いて、配向性を制御したZnO 薄膜を成膜することを目的とした。今回は、プレアニール
に着目し、プレアニール条件が薄膜の配向性に与える影響を調査した。