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[20a-133-2] 画像処理を用いた多結晶シリコンのマクロPL画像における転位クラスター検出とキャリア再結合の関係
キーワード:転位、多結晶シリコン
多結晶シリコン太陽電池の効率化のためには、変換効率を下げる主要因となる転位クラスターの発生・増殖を制御することが重要である。そこで我々は多結晶ウェーハのフォトルミネッセンス画像を画像処理することで、網羅的な転位クラスター検出を行った。本研究では、インゴット内の転位クラスターの発生点を正確に特定することを目指し、表面パッシベーションおよびイメージング測定の空間分解能の転位検出への影響を検討した。