[20a-141-1~13] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [20a-141-5] Al₂O₃/SiC形成後の酸素ラジカル処理による界面特性の改善

〇土井 拓馬^1,2、竹内 和歌奈³、坂下 満男¹、柴山 茂久¹、田岡 紀之²、中塚 理^1,4、財満 鎭明⁵ (1.名大院工、2.産総研・名大GaN-OIL、3.愛知工大、4.名大未来材料・システム研究所、5.名大未来社会創造機構)

キーワード：SiC、酸素ラジカル