[20a-146-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-146-6] MOVPE 法を用いた厚膜BGaN 結晶成長の検討および縦型中性子検出デバイスの作製

〇丸山 貴之¹、高橋 祐吏¹、山田 夏暉¹、江原 一司¹、望月 健¹、中川 央也¹、宇佐美 茂佳²、本田 善央³、天野 浩^3,4、小島 一信⁵、秩父 重英^3,5、井上 翼¹、青木 徹⁶、中野 貴之¹ (1.静大院、2.名大院工、3.名大IMaSS、4.赤崎リサーチセンター、5.東北大多元研、6.静大電研)

キーワード：BGaN、MOVPE