[20a-224A-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[20a-224A-9] GaN基板に形成したフェムト秒レーザー誘起周期構造の結晶評価

〇宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大)

キーワード：フェムト秒レーザー