[20a-234A-1~11] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[20a-234A-10] Fabrication of rock-salt structured MgZnO/MgO layered structures showing DUV emissions

〇Kyohei Ishii¹, Mizuki Ono², Takeyoshi Onuma², Kentaro Kaneko¹, Shizuo Fujita¹ (1.Kyoto Univ., 2.Kogakuin Univ.)

Keywords:DUV light emission, MgZnO, layered structure

ミストCVD法を用いてMgZnO/MgO積層構造を作製した。成長温度750℃においてステップフロー成長による非常に高い平坦性をもつ積層構造を作製することに成功した。本発表ではさらに詳細な構造評価と深紫外発光特性について報告する予定である。