[20a-234A-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20a-234A-10] 岩塩構造MgZnO/MgO積層構造の作製と深紫外発光

〇石井 恭平¹、小野 瑞生²、尾沼 猛儀²、金子 健太郎¹、藤田 静雄¹ (1.京大院工、2.工学院大)

キーワード：深紫外発光、MgZnO、積層構造

ミストCVD法を用いてMgZnO/MgO積層構造を作製した。成長温度750℃においてステップフロー成長による非常に高い平坦性をもつ積層構造を作製することに成功した。本発表ではさらに詳細な構造評価と深紫外発光特性について報告する予定である。