[20a-234A-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20a-234A-3] ミストCVD法で作製されたATO薄膜の電気的および光学的特性

〇(M1)上田 真理子¹、刘 丽¹、佐藤 翔太¹、ダン ジャン²、川原村 敏幸^1,2、藤田 静雄³、織田 容征⁴、平松 孝浩⁴ (1.高知工大院知能機械シス工、2.高知工大院総研、3.京大、4.東芝三菱電機産業システム)

キーワード：ミストCVD、透明導電性酸化物、アンチモン添加酸化スズ