[20a-234A-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20a-234A-6] ミストCVD法によるサファイア基板上における2種の非極性面ZnO薄膜の結晶性向上

〇田中 雄大¹、田之上 博信¹、永尾 悠生¹、古川 拓実¹、永岡 昭二^3,4、谷田部 然治^1,2、中村 有水^1,4 (1.熊大院自然科学、2.熊大院先導機構、3.熊本産技、4.くまもと有機薄膜センター)

キーワード：酸化亜鉛、ミストCVD法、結晶性