2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[20a-437-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

2018年9月20日(木) 09:00 〜 12:00 437 (437)

荻野 明久(静岡大)

09:45 〜 10:00

[20a-437-4] 下段コイル電流を大きく変調したタンデム型誘導熱プラズマによるSiナノ粒子の大量生成試験

隠田 一輝1、清水 光太郎1、兒玉 直人1、石坂 洋輔1、田中 康規1、上杉 喜彦1、石島 達夫1、末安 志織2、渡邉 周2、中村 圭太郎2 (1.金沢大自然、2.日清製粉グループ本社)

キーワード:誘導結合熱プラズマ、タンデム型、Siナノ粒子

筆者らは,2つの独立なコイルとRF電源を持つタンデム型変調誘導熱プラズマを開発している.
タンデム型変調誘導熱プラズマでは,そのコイル電流を変調することで,安定的に熱プラズマ内の温度を大きく時間的に変動させることができる.本研究報告では,タンデム型変調誘導熱プラズマの下段コイル電流を矩形波振幅変調することでSiナノ粒子の生成を行った.その結果,Siナノ粒子を高い割合で得ることができた.