[20a-437-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [20a-437-4] 下段コイル電流を大きく変調したタンデム型誘導熱プラズマによるSiナノ粒子の大量生成試験

〇隠田 一輝¹、清水 光太郎¹、兒玉 直人¹、石坂 洋輔¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹、石島 達夫¹、末安 志織²、渡邉 周²、中村 圭太郎² (1.金沢大自然、2.日清製粉グループ本社)

キーワード：誘導結合熱プラズマ、タンデム型、Siナノ粒子

筆者らは，2つの独立なコイルとRF電源を持つタンデム型変調誘導熱プラズマを開発している．
タンデム型変調誘導熱プラズマでは，そのコイル電流を変調することで，安定的に熱プラズマ内の温度を大きく時間的に変動させることができる．本研究報告では，タンデム型変調誘導熱プラズマの下段コイル電流を矩形波振幅変調することでSiナノ粒子の生成を行った．その結果，Siナノ粒子を高い割合で得ることができた．