[20a-437-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [20a-437-5] マグネトロンスパッタリングと容量結合プラズマを用いたコアシェル微粒子の生成

〇小山 寛¹、高橋 和生²、佐々木 浩一¹ (1.北大工、2.京都工繊大)

キーワード：プラズマ、ナノ粒子

この実験ではプラズマを用いた新しいコアシェル微粒子の生成プロセスを導入している。
このプロセスではプラズマ気相中に浮遊させた液滴微粒子にプラズマCVDを施し、コアシェル微粒子を生成した。このコアシェル微粒子は内部の液体が固化する際に体積変化によりシェル層の内部に空隙を生ずる等の特殊な構造が期待され、TEMを用いた観察結果を報告する。