[20a-437-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [20a-437-9] プラズマプロセス制御による線幅10 nmの高アスペクト有機薄膜パターン形成

〇福永 裕介¹、堤 隆嘉¹、石川 健治¹、近藤 博基¹、関根 誠¹、堀 勝² (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構)

キーワード：基板温度、有機物エッチング