[20a-438-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [20a-438-1] レーザーとスパッタリングを併用したZnOナノ粒子生成と解析

〇若木 航¹、三瓶 明希夫¹、蓮池 紀幸¹、鴨井 督²、木曽田 賢治³ (1.京工大、2.京都府中技セン、3.和大)

キーワード：酸化亜鉛、スパッタリング、レーザー

ターゲットに酸化亜鉛(ZnO)を用いてRFスパッタリングを行い、スパッタリング中にレーザーを照射することで、ZnOナノ粒子を生成することに成功した。このナノ粒子は通常のスパッタリングでは観測されず、生成されたナノ粒子をSEMで観察し粒径や数密度を解析した。またナノ粒子におけるレーザーの照射時間依存性や波長依存性を計測し、考察をおこなった。