[20a-438-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-438-3] RF-DC結合電源を用いたハイブリッド対向スパッタによるITO薄膜作製

〇諸橋 信一¹ (1.山口大学名誉教授)

キーワード：ハイブリッド対向スパッタ、RF-DC結合電源