[20a-PA1-1~11] 7 Beam Technology and Nanofabrication (Poster)

[20a-PA1-6] Low energy ion beam extraction from a monoplasmatron ion source

〇(M2)Keisuke Hida¹, Toshiro Kasuya¹, Motoi Wada¹ (1.Doshisha Univ.)

Keywords:plasma, ion source, ion beam

本イオン源はプラズマ生成室及びイオンビーム引き出し部で構成され，炭素のホローカソードを用いた冷陰極放電によりプラズマを生成する．本イオン源ではホローカソード－中間電極間距離，中間電極－アノード間距離を変化させ，イオンビームを引き出す上で重要となるビーム引き出し部のシース形状の最適化を行う．発表では，モノプラズマトロン型イオン源の放電特性を調査し，Ar及びXeイオンビームの電流密度変化の結果を報告する．