[20a-PA1-1~11] 7 ビーム応用（ポスター）

[20a-PA1-6] モノプラズマトロン型イオン源からの低エネルギーイオンビーム引出し

〇(M2)比田 圭祐¹、粕谷 俊郎¹、和田 元¹ (1.同志社大)

キーワード：プラズマ、イオン源、イオンビーム

本イオン源はプラズマ生成室及びイオンビーム引き出し部で構成され，炭素のホローカソードを用いた冷陰極放電によりプラズマを生成する．本イオン源ではホローカソード－中間電極間距離，中間電極－アノード間距離を変化させ，イオンビームを引き出す上で重要となるビーム引き出し部のシース形状の最適化を行う．発表では，モノプラズマトロン型イオン源の放電特性を調査し，Ar及びXeイオンビームの電流密度変化の結果を報告する．