[20a-PA1-1~11] 7 ビーム応用（ポスター）

[20a-PA1-7] プラズマスパッタ型イオン源の運転履歴に伴う引き出しイオン種の変化

〇吉岡 健太郎¹、阪本 健志¹、粕谷 俊郎¹、和田 元¹ (1.同志社大理工)

キーワード：スパッタリング、イオンビーム、反応性プラズマ

プラズマスパッタ法を用いて窒化アルミニウムイオンの生成を実施した．安定したイオン生成に向けてはイオン源内壁へのスパッタ因子の蓄積効果の影響を考慮する必要があることが判明した．壁面状態と引き出しイオン種の相関性を調査するためにイオン源を長時間に渡って，窒素とアルゴンの純ガス放電で繰り返し運転した．引き出しイオン種は内壁への窒化層の形成・剥離過程で変化し続けた．