[20a-PA5-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[20a-PA5-5] 熱処理前後におけるプラズマALD積層絶縁膜の膜質および界面評価

〇棚橋 優策¹、小川 慎吾¹、井上 敬子¹、杉本 智美¹、清水 夕美子¹、小坂 志乃¹、関 洋文¹ (1.東レリサーチセンター)

キーワード：分析評価、薄膜、界面