[20a-PA5-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[20a-PA5-9] インピーダンス解析による強誘電性HfO₂における分極反転過程の観察

安田 脩平¹、柴山 茂久¹、〇西村 知紀¹、矢嶋 赳彬¹、右田 真司²、鳥海 明¹ (1.東大院工、2.産総研)

キーワード：強誘電体HfO2