[20a-PA6-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-PA6-1] 大口径CZ-Si結晶育成における点欠陥挙動の数値シミュレーション

〇末岡 浩治¹、向山 裕次²、前田 進³、飯塚 将也²、マメドフ バシフ⁴ (1.岡山県大情報工、2.STRジャパン、3.グローバルウェーハズ、4.STRグループ)

キーワード：シリコン結晶成長、点欠陥、数値シミュレーション