[20a-PA6-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-PA6-2] シリコン粒界における不純物の偏析駆動力の第一原理解析

横井 達矢¹、〇野田 祐輔¹、中村 篤智¹、松永 克志¹ (1.名大工)

キーワード：多結晶シリコン、粒界編析、第一原理計算

本研究では第一原理計算を用いて、シリコン対称傾角粒界における炭素および遷移金属不純物の偏析挙動の違いと偏析駆動力を解析した。本結果より、炭素は遷移金属に比べて、粒界から離れた位置でも粒界の影響を受け偏析エネルギーが正負に変化する傾向が示された。また遷移金属どうしも偏析挙動に差異が見られ、Niの偏析エネルギーは全体的に負となり、粒界偏析しやすい傾向があることが示唆された。