[20p-133-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[20p-133-14] シリコンヘテロ接合太陽電池正孔選択層応用へ向けた酸化タングステンの低ダメージ形成

〇白取 優大¹、安田 洋司²、星 陽一²、金 珍雨¹、中田 和吉¹、宮島 晋介¹ (1.東工大工、2.東京工芸大工)

キーワード：対向ターゲットスパッタ、キャリア選択コンタクト