[20p-143-1~12] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[20p-143-12] 超伝導体金属の複素屈折率の高精度解析

〇(P)今野 俊生¹、鷹巣 幸子¹、福田 大治¹ (1.産総研)

キーワード：超伝導転移端センサ、TES、薄膜

我々は超伝導転移端センサ（TES）をカロリメータとして用いて、可視光域から近赤外波長領域にわたって高い量子効率でスペクトルを得ることを目的としている。今回は、Ti層の複素屈折率を多層薄膜モデルを用いて解析し、非常に精度の良い値を得た。この値を用いてシミュレーションを行い、高い量子効率を持つ光閉じ込め構造（光キャビティー）の作製と測定を行う。