[20p-144-1~12] Poly-Si TFTのルネサンスと新展開

[20p-144-6] 青色半導体レーザにより結晶化したpoly-Si膜を用いた金属S/D構造TFT

〇岡田 竜弥¹、伊敷 優哉¹、野口 隆¹ (1.琉大工)

キーワード：青色半導体レーザアニール