[20p-144-1~12] Poly-Si TFTのルネサンスと新展開

[20p-144-8] 最近のLTPS技術の応用動向

〇筒 博司¹ (1.ジャパンディスプレイ)

キーワード：低温ポリシリコン、薄膜トランジスタ、ディスプレー

LTPS（Low Temperature Polycrystalline Silicon）はLCD（Liquid Crystal Display）やOLED（Organic Light Emitting Diode）のバックプレーンとして広く採用されている。近年のLTPSの応用動向について、スマホ、車載、VR、フレキシブルOLEDなどに加え、指紋センサーと言うディスプレー以外の応用も含め述べる。