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[20p-222-10] 常温接合によるダイヤモンドBOX層SOIウェーハの検討2
-ＴＥＧ作製による電気特性評価-
キーワード：SOIウェーハ、ダイヤモンド層、常温接合貼り合わせ
我々は，パワーデバイスの自己発熱を対策するために，BOX層をダイヤモンドで形成するSOIウェーハを検討している．今回，本SOIウェーハ上へ実際にデバイスを作製し，その電気的特性を評価した．