[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20p-222-15] 紫外，可視，および近赤外レーザー照射に対するDLC膜の損傷観察

〇出貝 敏¹、針谷 達¹、爲國 公貴¹、谷本 壮¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、権田 英修²、神谷 雅男³、瀧 真⁴ (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス、3.伊藤光学工業、4.オンワード技研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、ラマン分光分析、レーザー照射

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は水素フリーで硬さの異なるta-C膜およびa-C膜，水素を含有したta-C:H膜およびa-C:H膜に大別される。DLC膜の主要な膜評価法にラマン分光分析がある。ラマン分光分析ではレーザー波長毎に特徴的なラマンスペクトルが得られる。しかし，DLC膜はレーザー照射によって損傷する。膜の損傷が生じると，正しいスペクトルを得ることはできない。そこで本研究では，レーザー照射によるDLC膜の損傷を観察した。