2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

2018年9月20日(木) 13:15 〜 19:30 222 (222)

青野 祐美(防衛大)、針谷 達(豊橋技科大)、寺地 徳之(物材機構)、加藤 有香子(産総研)

18:15 〜 18:30

[20p-222-19] 単原子層h-BN薄膜の軟X線発光スペクトルの測定

新部 正人1、鈴木 哲1、徳島 高1 (1.兵庫県大高度研)

キーワード:軟X線発光分光、窒化ホウ素膜、単原子層膜