[20p-222-1~23] 6.2 Carbon-based thin films

[20p-222-5] Crystal orientation evaluation of mosaic diamond by electron backscatter diffraction

〇(M2)Akio Matsushita¹, Minori Matsuoka¹, Naoji Fujimori², Daichi Dojima¹, Kazunori Koide¹, Tadaaki Kaneko¹, Shinichi Shikata¹ (1.Kwansei Gakuin Univ., 2.EDP)

Keywords:diamond

ダイヤモンドは高出力デバイスへの適応が期待されているが、その実用化には大口径単結晶ウェハが必要不可欠である。そこで考案されている手法が”モザイク技術”であり、本発表では、電子線後方散乱回折(Electron beam Backscatter Diffraction : EBSD)法を用いて、モザイク結晶の接合された結晶同士の配向性を検討したので報告する。