[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-222-9] ドーパントを含む溶液中におけるレーザー照射ドーピングのダイヤモンドへの適用

〇吉武 剛¹、アブバクル エスラム^1,2、ゼクリア アブデルラーマン^1,2、片宗 優貴³、大曲 新矢⁴、池上 浩⁵ (1.九州大学総理工、2.アスワン大学、3.九州工業大学、4.産業技術総合研究所、5.九州大学GLP)

キーワード：ダイヤモンド、ドーピング、レーザー誘起ドーピング

ドーパント元素を含む溶液中におけるレーザー誘起ドーピングをダイヤモンドに適用した．そのことで確かに表面の電気伝導度は増加した．置換ドーピングの証拠は得られていないが、nおよび p型ダイヤモンドと金属電極との間のオーム接触の形成に極めて有効であることが分かった．