[20p-223-1~11] アトミックレイヤープロセスの現状と展望

[20p-223-11] 金属原子層エッチングプロセスにおける錯体形成表面反応解析

〇伊藤 智子¹、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：アトミックレイヤーエッチング