[20p-223-1~11] アトミックレイヤープロセスの現状と展望

[20p-223-4] アトミックレイヤープロセスにおける表面反応解明のための第一原理計算の可能性と課題

〇山崎 隆浩¹ (1.阪大ナノセンター)

キーワード：表面反応、第一原理計算、アトミックレイヤープロセス