[20p-223-1~11] アトミックレイヤープロセスの現状と展望

[20p-223-9] Si系材料のフルオロカーボンプラズマ支援原子層エッチング

〇堤 隆嘉¹、近藤 博基¹、石川 健治¹、関根 誠¹、小林 伸好²、堀 勝³ (1.名大院工、2.日本エー・エス・エム、3.名大未来社会創造機構)

キーワード：原子層エッチング、フルオロカーボン、プラズマ