[20p-233-1~10] ナノエレクトロニクス材料・デバイス研究開発を目指した先端イオン顕微鏡技術

▲ [20p-233-9] Xenon Plasma FIB Technology and Applications

〇Kaoru Murata¹、Alex Bright¹ (1.Thermo Fisher Scientific)

キーワード：FIB、Xenon ion plasma