[20p-234A-1~18] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [20p-234A-4] HVPE法によるサファイアおよびGaNテンプレート上ε-Ga₂O₃膜の成長

〇佐藤 万由子¹、竹川 直¹、小西 敬太¹、村上 尚¹、熊谷 義直¹ (1.東京農工大院工)

キーワード：酸化ガリウム