[20p-234B-1~17] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[20p-234B-10] Si-rich SiGe\Si超格子における界面偏析が熱伝導率へ与える影響

〇(D)谷口 達彦¹、成瀬 延康²、山下 雄一郎³、中村 芳明¹ (1.阪大院基礎工、2.滋賀医科大、3.産総研)

キーワード：シリコン、超格子、熱電材料