[20p-234B-1~17] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[20p-234B-9] Wire Width Dependency of Silicon-Nanowire Micro Thermoelectric Generator

〇Hiroki Takezawa¹, Yuya Himeda¹, Keisuke Shima¹, Ryo Yamato¹, Takehiro Kumada¹, Mao Xu¹, Kohei Mesaki¹, Motohiro Tomita¹, Tianzhuo Zhan¹, Yoshinari Kamakura², Takeo Matsuki^1,3, Takashi Matsukawa³, Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.Osaka Univ., 3.AIST)

Keywords:energy harvesting, Thermoelectric Generator, Silicon Nanowire

近年、エナジー・ハーベスティング技術の一環として、シリコンナノワイヤ(Si-NW)を用いた熱電発電の研究が行われている。また、Si-NWの幅が小さいほど熱伝導率が減少することが明らかになっており、熱伝導率が小さいほど大きな温度差が期待されるため、我々の提案するSi-NWを短くするほど熱起電流が増大する熱電デバイスにおいてもSi-NWの幅を小さくすることで発電性能の向上が期待される。今回我々は、幅の異なる試料を作製しその評価を行った。