[20p-331-1~13] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [20p-331-1] アバランシェ降伏現象観測可能な垂直深掘りメサ型pnダイオードの電気的特性評価

〇福島 颯太¹、宇佐美 茂佳¹、安藤 悠人¹、田中 敦之^2,5、出来 真斗²、久志本 真希¹、新田 州吾²、本田 善央²、天野 浩^2,3,4,5 (1.名大院工、2.未来材料・システム研、3.赤崎記念研究センター、4.VBL、5.物質・材料研究機構)

キーワード：pnダイオード、アバランシェ