[20p-331-1~13] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[20p-331-6] 立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの異方性エッチング

〇向井 勇人¹、濱田 拓也¹、高橋 言緒²、井出 利英²、清水 三聡²、星井 拓也¹、角嶋 邦之¹、若林 整¹、岩井 洋¹、筒井 一生¹ (1.東工大、2.産総研)

キーワード：立体チャネルトランジスタ、窒化ガリウム