[20p-436-1~7] 3.2 Equipment optics and materials

△ [20p-436-4] Development of flexible metal mesh transparent electrode by laser induced photoreduction

〇Masato Sumiyoshi¹, Seiya Toriyama¹, Vygantas Mizeikis¹, Atsushi Ono¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:transparent electrode, laser, metal structure

本研究目的は，レーザー光還元法によるフレキシブルかつ肉眼で不可視な配線を有するメタルメッシュ透明電極の開発である．我々は，耐熱・耐薬性に優れたフレキシブルな透明ポリイミドにサブミクロン線幅の金属構造を直接描画する技術を開発した．銀イオンを含有したポリイミドベースの光還元材にCWレーザーを集光照射し，線幅0.9 µmの銀細線作製に成功した．銀細線の電流電圧特性を測定し，抵抗率9.8×10^-7 Ωmを実証した．