[20p-PA5-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-PA5-10] 変調パルス出力方式による高出力パルスマグネトロンスパッタのパルス設計とプラズマ分光計測

〇(B)中込 雄基¹、西田 寛¹、平井 芳拓¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、山本 宏晃²、戸名 正英²、塚本 恵三²、大下 慶次郎³、美齊津 文典³ (1.東京工芸大工、2.（株）アヤボ、3.東北大院理)

キーワード：マグネトロンスパッタリング、プラズマ計測、光学的計測

近年、高エネルギー粒子ならびに多価イオンの生成を可能とする高出力パルスマグネトロンスパッタ（HPPMS）は注目され、切削工具類の新たな硬質成膜技術として研究開発が進められている。本研究では、変調パルス出力（MPP）方式によるHPPMSによって生成するプラズマ発光の分光計測を行った。講演では、変調パルス出力の設計方法およびそれらに対するプラズマの発光特性について報告する予定である。